技術文章

日本kyowariken共和理研產品介紹

日本kyowariken共和理研產品介紹

 

スピンコーター
 
本器は、シリコンウェハー及びガラス基盤上にフォトレジスト等の薬液を効率よく、且つ均一に回転塗布することを目的とした高性能小型フォトレジストスピンナーです。
＜K-359S1簡易型＞（製造中止）

２ステップ/アナログメーター/MAX6000rpm/サンプルサイズ～４インチφ

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＜K-359S1簡易型＞

２ステップ/デジタルメーター/MAX6000rpm/サンプルサイズ～４インチφ

詳細
＜K-359SＤ１＞

３ステップ/デジタルメーター/MAX7000rpm/サンプルサイズ～６インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー

詳細
＜K-359SＤ２＞

３ステップ/デジタルメーター/MAX7000rpm/サンプルサイズ～８インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー

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＜K-359SＤ３＞

３ステップ/デジタルメーター/MAX3000rpm/サンプルサイズ～１２インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー/排気口

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スピンコーター
 
本器は、シリコンウェハー及びガラス基盤上にフォトレジスト等の薬液を効率よく、且つ均一に回転塗布することを目的とした高性能小型フォトレジストスピンナーです。
＜K-359S1簡易型＞（製造中止）

２ステップ/アナログメーター/MAX6000rpm/サンプルサイズ～４インチφ

詳細
＜K-359S1簡易型＞

２ステップ/デジタルメーター/MAX6000rpm/サンプルサイズ～４インチφ

詳細
＜K-359SＤ１＞

３ステップ/デジタルメーター/MAX7000rpm/サンプルサイズ～６インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー

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＜K-359SＤ２＞

３ステップ/デジタルメーター/MAX7000rpm/サンプルサイズ～８インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー

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＜K-359SＤ３＞

３ステップ/デジタルメーター/MAX3000rpm/サンプルサイズ～１２インチφ
プレッシャーセンサー/インターロック付カバー/排気口

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マスクアライナー
 
本裝置は研究開発を目的としたネガマスク露光の際、サンプルとのアライメントを正確かつ容易に行え、超高圧水銀燈を用いた小型軽量な紫外線照射裝置との組み合わせで効率よく露光することが可能なマニュアルUV露光裝置です。

＜K-307PS95簡易型＞
卓上型?低価格?教育実習向き
コリメータータイプ

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＜K-309PW95＞
卓上型?高精度アライメントマニピュレーター
コリメータータイプ
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＜K-311PS100＞
卓上型?高性能インテグレータータイプ
詳細

＜K-310P100S/165S＞
卓上型?高精度アライメントマニピュレーター
高性能インテグレータータイプ

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＜K-400PS95＞
両面露光?専用架臺付
コリメータータイプ

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抵抗率測定器
 
本裝置は直流四探針法に基づいて開発された測定裝置です。測定架臺及び、四探針プローブを取り揃えております。
＜K-705R簡易型＞

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＜K-705RS＞

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測定架臺
＜K-504RS簡易型＞
サンプルサイズ～１３５ｍｍ□

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＜K-503RS簡易型＞
サンプルサイズ～50ｍｍ□

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K-504RB簡易型＜K-504RB簡易型＞
サンプルサイズ～135ｍｍ□

詳細
＜K-503RB簡易型＞
サンプルサイズ～50ｍｍ□

詳細
＜K-503RX100＞
サンプルサイズ～４インチφ

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＜K-503RX150＞
サンプルサイズ～６インチφ

詳細
＜K-505RB300＞
サンプルサイズ～12インチφ/300mm□

詳細
＜K-505RB400＞
サンプルサイズ～16インチφ/400mm□

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＜ウェハーライフタイム測定裝置＞　Ｋ－７２０LH2
本裝置は共振回路を用いた新しいタイプのライフタイム測定器です。
シリコンウェハーのライフタイム測定器を非接觸で容易に行うことが可能です。ご使用目的に応じたオシロスコープを選定することにより有効にその実力を発揮します。
ライフタイム測定範囲1μS～1000μS(1Ω?cm以上)
分解能20mmφ
RF周波數40MHz
照射光源赤外LED
測定可能サンプルサイズ20mmφ～200mmφ t max=2.0mm
寸法W 260×D 470×H 290mm
消費電力AC100V 50W

 

 

 

 

 
抵抗率測定器
 
本裝置は直流四探針法に基づいて開発された測定裝置です。測定架臺及び、四探針プローブを取り揃えております。
＜K-705R簡易型＞

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＜K-705RS＞

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測定架臺
＜K-504RS簡易型＞
サンプルサイズ～１３５ｍｍ□

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＜K-503RS簡易型＞
サンプルサイズ～50ｍｍ□

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K-504RB簡易型＜K-504RB簡易型＞
サンプルサイズ～135ｍｍ□

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＜K-503RB簡易型＞
サンプルサイズ～50ｍｍ□

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＜K-503RX100＞
サンプルサイズ～４インチφ

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＜K-503RX150＞
サンプルサイズ～６インチφ

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＜K-505RB300＞
サンプルサイズ～12インチφ/300mm□

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＜K-505RB400＞
サンプルサイズ～16インチφ/400mm□

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