硬涂層等膜厚測量設(shè)備-反射光譜膜厚儀介紹

硬涂層等膜厚測量設(shè)備-反射光譜膜厚儀介紹

[原理]
當(dāng)樣品被光照射時，它顯示出取決于膜厚度的*光譜。在薄膜表面反射的光與穿過薄膜并在基板表面反射的光相互干涉。當(dāng)光的相位匹配時，強(qiáng)度增加，當(dāng)光相移時，強(qiáng)度降低。反射計是一種通過分析該光譜來測量薄膜厚度的方法。

[特點]
? 與 SEM 和觸針式輪廓儀不同，可以非接觸式測量。
? 比橢偏儀更便宜、更容易使用。

[規(guī)格]