桌面型快速退火爐MILA-5050的特點及使用指南

Mila-5050是一款桌面型的快速退火爐，可用于處理φ50mm以內(nèi)的樣品。

用于處理φ20mm以內(nèi)的Mila-5000系列自推出以來深受客戶的認可。隨著客戶對大尺寸樣品處理需求，Advance Riko在Mila-5000的基礎(chǔ)上推出可處理φ50mm樣品的MILA-5050。MILA-5050延續(xù)了MILA5000的緊湊設(shè)計，是一款集成加熱爐，加熱腔及溫控器與一體的桌面型快速退火爐。

特點

• 可對φ50mm以內(nèi)的樣品進行熱處理

• 最高熱處理溫度1200℃

• 集成加熱爐，加熱腔及溫控器與一體的桌面型設(shè)計

• 搭配水冷循環(huán)腔體，可進行潔凈的快速升降溫。

• 通過USB連接，可將溫控程序輸入到電腦

• 加熱過程中可通過電腦監(jiān)測溫度數(shù)據(jù)；

使用指南

• 硅片和復合圓晶的快速退火

• 電子材料的快速熱退火，例如光學CVD的基板

• 玻璃基板，陶瓷和復合材料等的熱處理

• 熱循環(huán)測試

• 金屬材料的熱退火

• 涂膜的耐熱性評估

• 有機材料和樹脂的加熱和干燥

均勻性測試

• ① 500℃,Δt = 3.2℃

• ② 800℃,Δt = 0.6℃

• ③ 1000℃,Δt = 4.2℃

• ④ 1200℃,Δt = 2.6℃