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技術文章

Spectronics 的產品優勢

Spectronics 的產品優勢

日本制× LD-GS(直驅激光器) ×加工方案

以“以先進的激光技術為產業革新做貢獻"為企業使命,作為日本的工業用超短脈沖激光器制造商,專注于日本激光振蕩器的研發、生產、銷售和售后服務。我在這。

皮秒紫外/深紫外激光被用作單微米級加工的新方法,用于半導體外圍設備和電子元件等的微型化進程,以及陶瓷和玻璃等被認為難以用可見光加工的脆性材料激光、透明體加工等,受到了很多關注。

我們是第一臺用于深紫外激光器的超短脈沖(15 ps)深紫外(266 nm)量產設備,據說這對于需要長期可靠性的工業應用來說很難實現。

Spectronics 激光振蕩器具有出色的可控性、高可加工性和高質量加工的特點。此外,由于使用壽命長,維護成本和停機時間減少,這有助于降低作為量產設備引入后的運行成本。

這些特征是通過LD-GS 方法*1實現的,它誕生于以下三個突破性技術的建立。

  1. 1,直接驅動激光器:可在任意時間產生皮秒脈沖的半導體激光光源

  2. 2,一種同時使用光纖和固態的混合放大器,可實現高輸出,同時具有窄線寬,可抑制波長轉換過程中的晶體損壞

  3. 3,使用兼具高輸出和長壽命的高純度晶體的紫外線/深紫外線波長轉換器

此外,我們擁有加工實驗室,并建立了與客戶共同驗證設備開發所需加工條件的系統,我們通過積極提出加工建議來支持激光加工系統的開發。我們還提供激光振蕩器周圍的光學部件,并支持整個激光加工系統的構建。

(*1) LD-GS(激光二極管增益切換)方法:一種通過半導體激光器的弛豫振蕩現象獲得光學皮秒脈沖的方法。

相關產品介紹


產品名稱波長脈沖寬度平均功率重復頻率特征







266nm(深紫外)<15ps>8W200kHz~1000kHz

高脈沖能量
多脈沖
脈沖分裂









355 納米(紫外線)<15ps>16W200kHz~1000kHz

高脈沖能量
多脈沖
脈沖分裂







355 納米(紫外線)<15?>4W200kHz~1000kHz

高光束質量
緊湊型
多脈沖
脈沖分裂





532 納米(綠色)<15ps>25W200kHz~1000kHz

高脈沖能量
多脈沖
脈沖分裂



532 納米(綠色)<15?>6W200kHz~1000kHz

高光束質量
緊湊型
多脈沖
脈沖分裂





















































  • 高光束質量

  • Denko 系列適用于可處理數 W 級輸出的加工,并且盡可能抑制輸出,它可以應用于光束質量 M2 < 1.2 的高質量加工,這比以往更高.

  • 緊湊型

  • 與傳統振蕩器相比,劃時代的設計成功地顯著減少了零件數量,實現了約 20 公斤的重量減輕。此外,通過減少零件數量,價格也有所降低。

  • 高脈沖能量

  • 通過在機構中加入雙固態放大器,可以實現高效、高速、高輸出和穩定的高脈沖能量的鉆孔和切割等加工。

  • 脈沖分割方式

  • 在脈沖分割模式下,可以控制低重復頻率,可以從 1 shot 開始加工。

  • 高速加工

  • 多脈沖模式(突發模式)可以通過細分脈沖進行處理。




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