非接觸式電阻率測量儀是如何測量的

Napson非接觸式電阻率測量儀EC-80P是一種采用渦電流原理進行非接觸式電阻率測量的設備，適用于測量2-12寸晶圓，能夠測量Si, SiC, GaN, GaAs等低阻及高阻半導體材料。該設備通過脈沖電壓激勵方法作為測量原理，可以在不損壞樣品的情況下進行測量。渦流法主要用于非接觸式測量，可測量1E-3（1m）至1E + 4（10k）Ω/□電阻范圍，適用于半導體，化合物半導體，液晶和新型碳基材料等廣泛領域的測量。此外，EC-80P便攜型非接觸電阻率量測儀可測量PN極性，并具有溫度補償功能，多個量程探頭可選。