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日本napson平板電阻薄層電阻測量半自動裝置

產品名稱: 日本napson平板電阻薄層電阻測量半自動裝置
產品型號: RG-100PV
產品特點: 日本napson平板電阻薄層電阻測量半自動裝置
玻璃基板上薄膜的四探針法半自動測量儀
XY軸機構臺
平面內多點測量配備了均勻螺距或隨機螺距設置選擇以及2-D ??/ 3-D映射軟件。

日本napson平板電阻薄層電阻測量半自動裝置 的詳細介紹

日本napson平板電阻薄層電阻測量半自動裝置

 

測量規格

測量目標

  • 與半導體/太陽能電池相關的材料(硅,多晶硅,SiC等)
  • 新材料/功能材料(碳納米管,DLC,石墨烯,銀納米線等)
  • 導電薄膜相關(金屬,ITO等)
  • 擴散樣品硅基薄膜(LTPS等),IGZO
  • 硅基外延離子注入樣品
  • 與化合物半導體有關的(GaAs,Epi,GaN,Epi,InP,Ga等)
  • 其他(*請與我們聯系)

測量尺寸

大300 x 300毫米(選件;大500 x 500毫米)

 

測量范圍

[電阻(比電阻)] 1m至200Ω·cm 
[片電阻] 1m至1,000kΩ/ sq(選件;?10MΩ/ sq)

測量規格

測量目標

  • 與半導體/太陽能電池相關的材料(硅,多晶硅,SiC等)
  • 新材料/功能材料(碳納米管,DLC,石墨烯,銀納米線等)
  • 導電薄膜相關(金屬,ITO等)
  • 擴散樣品硅基薄膜(LTPS等),IGZO
  • 硅基外延離子注入樣品
  • 與化合物半導體有關的(GaAs,Epi,GaN,Epi,InP,Ga等)
  • 其他(*請與我們聯系)

測量尺寸

大300 x 300毫米(選件;大500 x 500毫米)

 

測量范圍

[電阻(比電阻)] 1m至200Ω·cm 
[片電阻] 1m至1,000kΩ/ sq(選件;?10MΩ/ sq)

映射圖像

  • 半自動類型<br />(多點測量系統[包括軟件+ PC])
  • 半自動類型<br />(多點測量系統[包括軟件+ PC])

 日本napson平板電阻薄層電阻測量半自動裝置

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