低濃度臭氧環境測量半導體制造用

低濃度臭氧環境測量半導體制造用

測量性能

• 測量方法：采用紫外線吸收法，依據朗伯-比爾定律，通過光度吸收原理精確測量臭氧濃度。
• 測量范圍：低濃度測量范圍為0至0.2ppm，中濃度測量范圍為0至0.5ppm。
• 最小指示值：0.0001ppm（0.1ppb），可顯示負值。
• 精度：線性度、再現性和準確性均為±0.5%/滿量程。
• 漂移：零漂移和跨度漂移均為±0.5%/FS/月。

設備設計

• 樣品流速：1.5至2升/分鐘。
• 測量周期：12秒（標準）。
• 顯示：濃度顯示為LED大寫字母（紅色），信息顯示為綠色小寫字母，兩行顯示。
• 輸出功能：具備瞬時值0至1V DC的模擬輸出，以及1小時平均值0至1V DC的輸出。同時配備遙測輸出和RS-232C接口。

環境適應性

• 工作溫度：0至45°C。
• 工作濕度：10至80%（無冷凝）。
• 溫度補償功能：內置反應池溫度傳感器。
• 壓力補償功能：反應池內內置壓力傳感器。

物理特性

• 電源：AC100V，50/60Hz，約70VA。
• 外形尺寸：430寬×132高×410深。
• 重量：約10公斤。

適用場景

測量性能

• 測量方法：采用紫外線吸收法，依據朗伯-比爾定律，通過光度吸收原理精確測量臭氧濃度。
• 測量范圍：低濃度測量范圍為0至0.2ppm，中濃度測量范圍為0至0.5ppm

  。
• 最小指示值：0.0001ppm（0.1ppb），可顯示負值

  。
• 精度：線性度、再現性和準確性均為±0.5%/滿量程。
• 漂移：零漂移和跨度漂移均為±0.5%/FS/月。

設備設計

• 樣品流速：1.5至2升/分鐘

  。
• 測量周期：12秒（標準）。
• 顯示：濃度顯示為LED大寫字母（紅色），信息顯示為綠色小寫字母，兩行顯示

  。
• 輸出功能：具備瞬時值0至1V DC的模擬輸出，以及1小時平均值0至1V DC的輸出。同時配備遙測輸出和RS-232C接口

  。

環境適應性

• 工作溫度：0至45°C

  。
• 工作濕度：10至80%（無冷凝）

  。
• 溫度補償功能：內置反應池溫度傳感器

  。
• 壓力補償功能：反應池內內置壓力傳感器

  。

物理特性

• 電源：AC100V，50/60Hz，約70VA

  。
• 外形尺寸：430寬×132高×410深

  。
• 重量：約10公斤

  。

適用場景