小型液體單晶圓噴淋用液體監測流量計

小型液體單晶圓噴淋用液體監測流量計

1. “清洗機、沖洗槍、單晶圓噴淋"專用超小型液體流量計，

• 通徑 6 mm / 10 mm / 15 mm 三種，
• 全長僅 55 mm（6 mm 型），
• 質量 45 g，
• 可 360 ° 旋轉表頭，
• 即插即用 4-20 mA + 脈沖雙輸出，
• 純水→強堿（NaOH 50 %）全材質對應

檢測原理：法拉第電磁感應（無電極突出，抗氣泡）襯里／接液：VN-W：PPS 襯里 + SUS316L 電極（純水、去離子水）VN-C：PFA 襯里 + 鈦電極（碳氫、酒精、燃料）VN-S：陶瓷測量管 + 鈦電極（NaOH、KOH、HF、H?O?）口徑／流量范圍：6 mm：0.15 – 15 L min?110 mm：0.4 – 40 L min?115 mm：1 – 100 L min?1精度：±1.0 % RD（15 L min?1 以上）/ ±0.015 L min?1（小流量）重復性：±0.2 % RD響應時間：≤ 100 ms（T90，50 Hz 輸出更新）輸出：脈沖（開集，0-1 kHz）+ 隔離 4-20 mA（三線）電源：DC 12 – 24 V ±10 %，功耗 0.8 W使用溫度：液體 0 – 70 ℃（VN-S 陶瓷 0 – 100 ℃）耐壓：1.0 MPa（常溫）連接方式：入/出口相同：Rc 3/8″、1/2″、3/4″ 內螺紋；可選快擰、倒鉤軟管接頭全長 55 mm（6 mm 型）/ 65 mm（10 mm）/ 75 mm（15 mm）防護：IP65（表頭旋轉鎖緊后）重量：45 g（6 mm）/ 60 g（10 mm）/ 80 g（15 mm）清洗行業安裝優點長度 55 mm，可塞進單晶圓清洗手臂，無懼空間干涉表頭 360 ° 旋轉，布線不扭結無前后直管段要求（0D/0D），貼近噴淋閥安裝也能保證 1 % 精度接液部無電極突出，DI 水/臭氧水不易積氣泡陶瓷型 VN-S 可 100 ℃ 熱堿液，SPM 清洗后熱水沖洗段照常使用選型速查| 液體 | 溫度 | 推薦型號 | 接液材質 ||------|------|----------|----------|| 18 MΩ DI 水 | 25 ℃ | VN-W-6 | PPS+SUS316L || IPA 碳氫 | 40 ℃ | VN-C-10 | PFA+Ti || NaOH 5 % | 80 ℃ | VN-S-15 | 陶瓷+Ti || HF 0.5 % | 60 ℃ | VN-S-10 | 陶瓷+Ti |輸出接線（4 線）紅：+12-24 V黑：0 V綠：4-20 mA +白：脈沖輸出（開集）價格 & 交期（2025-Q3）VN-W-6 Rc3/8：JPY 38 000（≈ 0.18 萬 RMB）VN-S-10 Rc1/2：JPY 58 000國內現貨 1-2 周；軟管倒鉤型 3 周總結VN 型把電磁流量傳感做到 55 mm 長、45 g 重，360 ° 旋轉表頭 + 0D 直管段 + 4-20 mA/脈沖雙輸出，純水-強堿全材質覆蓋，是單晶圓清洗臂、沖洗槍、小型循環機“即插即用"的流量監測。純水-強堿全材質覆蓋，是單晶圓清洗臂、沖洗槍、小型循環機“即插即用"的流量監測純水-強堿全材質覆蓋，是單晶圓清洗臂、沖洗槍、小型循環機“即插即用"的流量監測