實(shí)驗(yàn)室低壓標(biāo)準(zhǔn)氣體精密壓力調(diào)整器

產(chǎn)品名稱(chēng): 實(shí)驗(yàn)室低壓標(biāo)準(zhǔn)氣體精密壓力調(diào)整器

產(chǎn)品型號(hào): 6610型

產(chǎn)品特點(diǎn): 實(shí)驗(yàn)室低壓標(biāo)準(zhǔn)氣體精密壓力調(diào)整器
日本 KOFLOC 6610 型是一款專(zhuān)為“低壓、無(wú)泄漏、精密控制"場(chǎng)景設(shè)計(jì)的壓力調(diào)節(jié)器，集合了：
金屬波紋管＋雙密封＝He 漏率 ≤1×10?? Pa·m³/s
平衡閥芯＝入口波動(dòng)自動(dòng)補(bǔ)償，出口壓力不受上游變化影響
0–0.4 MPa 全量程精度 ±0.5 % F.S.

實(shí)驗(yàn)室低壓標(biāo)準(zhǔn)氣體精密壓力調(diào)整器 的詳細(xì)介紹

實(shí)驗(yàn)室低壓標(biāo)準(zhǔn)氣體精密壓力調(diào)整器

日本 KOFLOC 6610 型是一款專(zhuān)為“低壓、無(wú)泄漏、精密控制"場(chǎng)景設(shè)計(jì)的壓力調(diào)節(jié)器，集合了：

金屬波紋管＋雙密封＝He 漏率 ≤1×10?? Pa·m3/s
平衡閥芯＝入口波動(dòng)自動(dòng)補(bǔ)償，出口壓力不受上游變化影響
0–0.4 MPa 全量程精度 ±0.5 % F.S.
端口 1/4–1/2 英寸可選，材質(zhì)全 SUS316L，可應(yīng)對(duì)腐蝕性氣體/液體

典型用途：半導(dǎo)體 purge、燃料電池陽(yáng)極低壓配氣、分析儀器載氣入口、實(shí)驗(yàn)室低壓標(biāo)準(zhǔn)氣體發(fā)生等。

1. 型號(hào)與流通能力

表格

復(fù)制

型號(hào)	端口	Cv	大流量 *	適用管徑
6610-02	Rc1/4	0.2	10 L/min	DN6-10
6610-03	Rc3/8	0.4	25 L/min	DN10-15
6610-04	Rc1/2	0.7	50 L/min	DN15-20

*N?、0.1 MPa 入口、0.05 MPa 出口條件下實(shí)測(cè)值

2. 主要規(guī)格

入口壓力：0–1.0 MPa
出口調(diào)壓：0.005–0.4 MPa（5–400 kPa）
靈敏度：≤0.2 kPa
溫度范圍：-10–80 ℃（可選高溫 150 ℃型）
密封等級(jí)：ISO 15848-1 BH 級(jí)／He 漏率 ≤1×10?? Pa·m3/s
材質(zhì)接液：SUS316L + 氟橡膠（FKM）/FFKM 可選
重量：0.7 kg（1/4 型）

3. 結(jié)構(gòu)亮點(diǎn)

① 金屬波紋管感知元件 → 無(wú)摩擦、無(wú)滯后，長(zhǎng)期使用漂移＜0.3 %/年
② 平衡式閥芯 → 入口壓力波動(dòng) 0.05→0.8 MPa 時(shí)，出口變化＜±0.3 kPa
③ 雙密封設(shè)計(jì) → 滿足 SEMI F70、FCG 無(wú)泄漏要求
④ 面板/底板兩用 → 30×30 mm 方板，可直接裝入 19″ 機(jī)架
⑤ 內(nèi)置 40 μm 過(guò)濾網(wǎng) → 防止顆粒卡閥，可在線沖洗

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